量程10 SCCM-3000 SLPM，優(yōu)于2 %的精度，控制范圍廣，優(yōu)于100 ms響應(yīng)時(shí)間，適用于高壓應(yīng)用

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21Q系列氣體質(zhì)量流量控制器，同我們的標(biāo)準(zhǔn)控制器一樣，能對(duì)需要較高管線壓力（160-320 psia）的應(yīng)用環(huán)境進(jìn)行快速控制響應(yīng)。這款高壓應(yīng)用質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門(mén)和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能夠快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。?
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應(yīng)用及案例

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● 大學(xué)/研究所? ? ? ? ? ? ? ? ?● 環(huán)境監(jiān)測(cè)

● 真空行業(yè)及鍍膜? ? ? ? ? ?● 工業(yè)爐窯

● 半? 導(dǎo)? 體? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 汽車(chē)制造

● 光? ? ? ?伏? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 燃料電池

● 計(jì)量校準(zhǔn)? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 過(guò)程工藝氣體測(cè)量

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產(chǎn)品特色

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● ?多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。

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● ?連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。

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● ?耐用。21Q系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)。為保證對(duì)環(huán)境影響的耐受性，我們可以為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級(jí)防護(hù)。

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精度升級(jí)

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量程為10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度? ? ? ? ?± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取最大值）

測(cè)量和控制范圍? ? ? ? ? ? ?0.1 ~ 100%滿量程

重復(fù)性? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1%滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移? ? ? ? ± 0.01%滿量程/ ℃溫差?

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移? ? ? ? ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃溫差?

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm壓力差

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性能指標(biāo)

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介質(zhì)要求??? 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類(lèi)??? 內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考?xì)怏w兼容表

? ? ? ? ? ? ? ? ? 一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇

量? ? ? ?程? ? 從0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（詳情請(qǐng)咨詢(xún)）

測(cè)量和控制范圍? ? 0.5% ~ 100%滿量程

最大顯示流量??? 高達(dá)128%滿量程（取決于氣體）

最大可控流量??? 102.4%滿量程

顯? 示? 屏??? 帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器

顯示方式??? 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

精? ? ? ?度??? ± 2%滿量程??精度升級(jí)見(jiàn)上段

重? 復(fù)? 性??? ± 2%滿量程

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移??? 0.02% 滿量程/ ℃/ Atm

響應(yīng)時(shí)間??? 優(yōu)于100 ms

預(yù)熱時(shí)間??? ＜1s

標(biāo)定工況??? 25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度??? -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項(xiàng)至100℃）

溫度精度?? ?± 0.75℃

工作濕度??? 0 ~ 100%

最大工作壓力??? 320 psia

滿量程壓損??? 參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率??? 數(shù)字信號(hào)40Hz@19200波特率；

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率??? 10Hz

數(shù)字輸入/輸出信號(hào)??? RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT

模擬輸入/輸出信號(hào)??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號(hào)精度?? ?在基礎(chǔ)誤差上額外增加±0.1%滿量程的誤差

供電電壓 ????12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA輸出）

供電電流?? ?0.250 A

電氣接口??? DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN、8-pin M12

泄漏率（外漏）??? 選擇HLC選項(xiàng)，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He?

材? ? ? ?質(zhì)??? 303和302不銹鋼、Viton?、熱固化硅橡膠、玻璃增強(qiáng)聚苯硫醚、熱固化環(huán)氧樹(shù)脂、鋁、金、黃銅、430FR 不銹鋼、硅、玻璃。如果您申請(qǐng)需要其它材料，請(qǐng)聯(lián)系我們。

過(guò)程連接??? 詳情參考?jí)簱p表

安裝方式??? 對(duì)位置無(wú)要求

防護(hù)等級(jí)??? IP40

認(rèn)? ? ? ?證??? ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

?*如選Profibus，則無(wú)模擬信號(hào)，無(wú)顯示，其供電電壓及供電電流需來(lái)電垂詢(xún)

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選項(xiàng)配件

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（需另行訂購(gòu)）

● ?過(guò)程端口接頭和過(guò)濾器

● ?電源

● ?通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

● ?BB3和BB9多點(diǎn)式集線盒

● ?Flow Vision軟件

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包裝清單

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● ?MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購(gòu)）

● ?NIST可溯源校準(zhǔn)證書(shū)

● ?艾里卡特操作說(shuō)明書(shū)

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尺寸詳圖

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尺寸壓損

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產(chǎn)品大圖

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