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產(chǎn)品分類：BROOKS質(zhì)量流量控制器 / Brooks質(zhì)量流量計
SLAMF53_防爆型數(shù)模橡膠密封質(zhì)量流量控制器(12L253L)
數(shù)模橡膠密封;
流量范圍:100-2500 slpm;
耐壓:70 Bar
精度:±1.0% of rate(20%-100% FS);
±0.2% FS(below 20% FS);
±1.0% of FS(1100-2500 slpm
單位：臺 產(chǎn)地：美國 交貨周期：6周 保期：一年 驗收標準：OEM標準
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