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PSG500 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì) PSG500、PSG502-S
簡單介紹
INFICON的 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì) PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅(jiān)固耐用小型管殼內(nèi)的最先進(jìn)的Pirani技術(shù).溫度補(bǔ)償提供快速與最穩(wěn)定的真空測量并消除了對(duì)大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問題. 堅(jiān)固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng), 以及常規(guī)用途如前級(jí)真空管道中.
PSG500 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)
特點(diǎn)：
■ 占空間小
■ 任何方位安裝
■ 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
■ 最佳化的溫度補(bǔ)償
■ 易于集成的對(duì)數(shù)訊號(hào)輸出
■ 至10巴絕對(duì)壓力的高過壓能力，用螺紋連接件
■ 烘烤型在法蘭處可達(dá)到250 °C
■ 易于更換的傳感單元
應(yīng)用：
■ 控制高真空電離真空計(jì)
■ 前級(jí)真空壓強(qiáng)監(jiān)測
■ 真空系統(tǒng)中的安全電路
■ 在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制
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