|
INFICON的冷陰極和皮拉尼的復合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測量范圍從 5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測量方式組合在一個具有對數模擬輸出的小型單元內,大大地降低了安裝,設置和集成的復雜性.
MPG400冷陰極和皮拉尼的復合真空規(guī)的詳細介紹
優(yōu)點：
■復合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼
■寬的壓強測量范圍從5X10-9毫巴至大氣壓
■無可燒毀的燈絲
■卓越的引燃功能
■易清洗
■FPM或金屬密封的饋入件
■高壓加上時LED指示燈亮
■對數模擬輸出訊號
應用：
■高真空壓強監(jiān)測
■蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強測量
■一般真空測量和控制，從中至高真空范圍
技術參數：
|
測量范圍 (空氣, N2)
|
毫巴(乇)
|
5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)
|
|
精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴
|
% 讀值
|
≈±30%
|
|
重復性1 x 10-8 … 100毫巴
|
% 讀值
|
≈±5%
|
|
安裝方向
|
|
任何
|
|
允許壓強
|
巴(絕對)
|
≤10 (限于惰性氣體)
|
|
允許溫度
工作 (室溫)
貯存
烘烤 1)
燈絲溫度 (皮拉尼)
|
°C
°C
°C
°C
|
+5 … +55
–40 … +65
150
120
|
|
電源電壓
|
|
|
|
在規(guī)管上
|
V DC
|
+15 … +30
|
|
在供電單元上, 最大電纜長度 2)
|
V DC
|
+16 … +30
|
|
紋波
|
Vpp
|
≤1
|
|
功耗
|
W
|
≤2
|
|
連接保險絲
|
AT
|
≤1
|
|
輸出訊號(測量訊號)
|
|
|
|
電壓范圍
|
V
|
0 … +10.5
|
|
測量范圍
|
V
|
+1.82 … +8.6
|
|
電壓與壓強的關系
|
|
對數, 0.6 V/量級
|
|
誤差訊號
|
V
|
<0.5 (無電源)
|
|
|
V
|
>9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂)
|
|
輸出阻抗
|
?
|
2 x 10
|
|
最小負載阻抗
|
k?
|
10, 短路保護
|
|
響應時間 p > 10-6 毫巴
|
毫秒
|
<10
|
|
p = 10-8 毫巴
|
毫秒
|
≈1000
|
|
規(guī)管標識
|
k?
|
85, 參考電源公共點
|
|
狀態(tài)
|
|
|
|
僅皮拉尼模式
|
V
|
0 (低)
|
|
復合皮拉尼 / 冷陰極模式
|
V
|
15 … 30 (高)
|
|
指示燈
|
LED 綠色
|
高壓on
|
|
電氣連接
|
|
FCC 68 設備連接件, 8腳,凹型
|
|
傳感器電纜
|
|
8芯,加屏蔽
|
|
電纜長度
|
米
|
≤50 (8 x 0.14 毫米2)
|
|
工作電壓
|
千伏
|
≤3.3
|
|
工作電流
|
微安
|
≤500
|
|
暴露于真空的材料
|
|
不銹鋼, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
|
不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W
|
|
內容積
|
厘米3
|
≈20
|
|
重量
|
|