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              您的位置:網(wǎng)站首頁 ? 產(chǎn)品中心 ? HORIBA質(zhì)量流量控制器
              HORIBA質(zhì)量流量控制器

              SEC-8000 高溫質(zhì)量流量控制器

              產(chǎn)品分類:HORIBA質(zhì)量流量控制器

              產(chǎn)品介紹

              概要

              質(zhì)量流量計(jì)是用來測量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需精確測量,需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。

              特征

              它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

              • 適用于高溫:可滿足150℃烘焙
              • 產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號
              • 超清潔類型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造
              • 最適于MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

              規(guī)格

               

              SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

              SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

              SEC-8440LSL

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

              SEC-8450LSL

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              10/20 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

              SEC-8455LSL

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              30/50 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

              SEC-8460LSL

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              50/100 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:15?35℃

              SEC-8440LSM

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

              SEC-8450LSM

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              10/20 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

              SEC-8455LSM

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              30/50 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

              SEC-8460LSM

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              50/100 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:35?60℃

              SEC-8440LSH

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

              SEC-8450LSH

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              10/20 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

              SEC-8455LSH

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              30/50 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

              SEC-8460LSH

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              50/100 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:60?80℃

              SEC-8440SL

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

              SEC-8450SL

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              3/5/10 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

              SEC-8455SL

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              10/20 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

              SEC-8460SL

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              20/30/50 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:80?100℃

              SEC-8440SM

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

              SEC-8450SM

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              3/5/10 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

              SEC-8455SM

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              10/20 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

              SEC-8460SM

               

              氣體接觸部材質(zhì)

              SUS-316L

              閥門類型

              NO: 非通電時(shí):開

              標(biāo)準(zhǔn)流量量程

              20/30/50 SLM

              流量控制范圍

              2?100% F.S.(滿量程)

              流量精度

              ±1.0% F.S.(滿量程)  使用溫度:100?120℃

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